ΣΥΚΩΤΗ, ΠΑΝΑΓΙΩΤΑ (7219); ΣΚΟΥΡΑ, ΕΥΔΟΞΙΑ ΕΛΕΝΗ (7374)
(ΠΑΝΕΠΙΣΤΗΜΙΟ ΠΕΛΟΠΟΝΝΗΣΟΥ, 2021-03)
Τα Μικροηλεκτρομηχανολογικά συστήματα, ή MEMS, είναι μια τεχνολογία που στην πιο γενική της μορφή μπορεί να οριστεί ως μικροσκοπικά μηχανικά και ηλεκτρομηχανικά στοιχεία (δηλαδή συσκευές και δομές) που κατασκευάζονται ...